技术参数
| 项目 | 指标 |
| 产品类型 | 原硅片、PE前制程片 |
| 产品尺寸 | ≤230mm |
| 检测内容 | 隐裂、崩边缺角、针孔、黑点、片放反，线痕等 |
| 产能 | ＞7200pcs/h |
| 检测效率 | ＜200ms/pcs（以210*210为例） |
| Uptime | ≥99.9%，计算方式：[1-(维护+维修时间)/总时间]*100% |
| 误检率 | ≤0.03%（良率大于95%以上，计算方式：误检数量/检测总量，总量10000片以上） |
| 漏检率 | ≤0.01%（良率大于95%以上，计算方式：漏检数量/检测总量，总量10000片以上） |
| 最高检测精度 | 70um |
| 产品外观尺寸 | 标准L450(mm)*W150(mm)*H520(mm)，高度需根据线体环境调节 |
产品特点
独立式隐裂碎片检测模块，可选配踢料结构。
全定制光学系统，质量可靠，成像质量更佳。
高效率AI算法，单片算法时间<200ms。
软件支持一拖二双通道同时运行，在降低成本的同时提高生产效率。
采用落地式龙门架方式，节省安装空间，宽度最低只需200mm空间。
